油扩散泵临界前级压力的测量报告

在测试结果中，前级临界压力的单位为Pa，气体流量的单位为Pa.L / s。除非另有说明，否则临界前级压力与气体流量之间的关系应在坐标图中显示。如上（1）所述，确定临界前级压力时，应在泵口增加吸入压力。在高真空侧的压力没有突然增加的情况下，当气体流量为零时，应提供前级压力与高真实空间之间的关系曲线。